После серии экспериментов вынужден констатировать что емкостной датчик (проверял конкретно LJC18A3-H-Z/BY) не подходит для задач калибровки уровня стола из за дрейфа параметров на разных режимах.
Закономерности не заметил но "ноль" в разные дни у меня плавал от +7 до +15 мм
Причем внутри серии разброс тоже не приятный, не меньше 0.1 мм, что в принципе уже много.
Возвращаюсь к экспериментам с FSR и аналогичными механическими датчиками касания forum107/topic15550.html