$ilent а какой подходящий размерчик для плазмы если не секрет?
чтот не припомню ограничений в размерах обрабатываемого инструмента из-за применения плазмы. можно хоть микронное покрытие на кончик иглы, хоть сразу на квадратный метр какой-нить детальки. или вопрос в температуре плазы и что она якобы имеет температуру порядка десятков, сотен тысяч или даже миллионов градусов и мелкая деталька не то, что сгорит, а просто моментально испарится? не используй высокотемпературную плазму и не испариться.
материал напыления тож оч разный можно, было бы желание, а методика найдётся. смотри скок всего:
"Наиболее перспективными твердыми покрытиями для режущего инструмента считаются покрытия карбидами и нитридами переходных металлов (титана, циркония и др.), а также оксидами алюминия, кремния, оксидом и нитридом бора. В частности, для покрытия режущих пластин из твердых сплавов в настоящее время широко применяются нитрид титана (TiN), карбонитрид титана (TiCN), титан нитрид алюминия (TiAlN), нитрид хрома (CrN), нитрид циркония (ZrN) и т.п. Наиболее эффективны покрытия, состоящие из комбинации твердых и мягких слоев. Но в любом случае общая толщина покрытия составляет величину, не превышающую, как правило, 5–15 мкм. Только при этих условиях удается избежать проявления собственной высокой хрупкости сверхтвердых материалов". и это далеко не все применяемые материалы.
вот например принцип одного из вариантов напыления: "При ионно-плазменном методе в вакуумной установке само осаждаемое вещество испаряют (ионизируют), а затем полученную плазму напыляют на упрочняемую поверхность в атмосфере реакционного или инертного газа. При толщине около 5 микрон покрытия обладают великолепной прочностью сцепления, защищая не только от действия коррозии, но и от износа: покрытие на основе нитрида титана TiN имеет твердость около 2000 HV, а из карбонитрида титана TiNC – более 3000 HV."
а вот другой вариант напыления: "Чаще всего для покрытия режущего инструмента применяется нитрид титана TiN. Он наносится ионно-плазменным методом на установках типа «Булат». Суть метода заключается в том, что в камере, заполненной азотом, газ разогревается до состояния плазмы. Инструмент, на который заранее наносится титановое покрытие, также находится в этой камере. Под воздействием высокой температуры плазмы атомы азота, имеющие высокую энергию, замещают собой атомы титана. Вследствие этого процесса получается покрытия «золотого» цвета из нитрида титана. Обладая высокой твердостью, коррозионной стойкостью, низким коэффициентом трения с обрабатываемыми материалами, такое покрытие служит диффузионным барьером, уменьшая износ инструмента, силы резания (при обработке резанием) и усилия деформирования (при операциях штамповки). Защищая от перегрева подложку (материал под пленкой нитрида титана), покрытие снижает склонность инструмента к свариванию с обрабатываемым материалом, уменьшает или исключает налипание на инструмент, улучшает качество обработанной поверхности.
Аналогичные результаты получены и при определении стойкости напыленных нитридом титана зуборезных червячных фрез из стали Р6М5 при нарезании шестерен из стали 40Х модулем (сверлом) 3,5 мм: до снятия со станка одной фрезой с напылением можно нарезать 68 шестерен против 27 фрезами без покрытия, т.е. повышение стойкости составляет 2,5 раза."
ну или для "выноса мозга" вариант: "Процессы физического осаждения покрытий (ФОП) обычно включают вакуумное испарение тугоплавкого металла-образователя соединения покрытия, его частичную или полную ионизацию, подачу реакционного газа, химические и плазмохимические реакции, конденсацию покрытия на рабочих поверхностях РИ.
Среди методов ФОП наибольшее распространение в нашей стране получил метод конденсации ИП из плазменной фазы в вакууме с ионной бомбардировкой поверхности РИ (метод КИБ). Разработаны и применяются также методы ионного плакирования и ионизированного реактивного напыления, магнетронно-ионного распыления (метод МИР) и другие (ионное плакирование, метод реактивного электронно-лучевого плазменного осаждения покрытий из пароплазменной фазы в вакууме (РЭП), активированного реактивного напыления (ARE)).
Метод катодно-ионной бомбардировки (КИБ) основан на генерации вещества катодным пятном вакуумной дуги сильноточного низковольтного разряда, развивающегося исключительно в парах материала электрода. Подача в вакуумное пространство реагирующих газов (азота, метана и др.) в условиях ионной бомбардировки приводит к конденсации покрытия на поверхности РИ благодаря протеканию плазмохимических реакций."
и различных реализацый напыления очень и очень много.